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烧结炉的发展与应用

发布时间:2022-09-26      点击次数:161
  一、烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
 
  二、特点:
 
  (1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。
 
  (2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。
 
  (3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。
 
  (4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。
 
  三、分类:
 
  1、网带炉,可以使用快速烧除(RBO)机构加速润滑剂的烧除,以及碳补偿保证炉内碳势,具有驱动、传动装置,进料、出料稳定并连续地进行。传送带的速度可以在1.4~14m/h之间进行调节,以适应各种压坯烧结时间不同的要求。
 
  2、推杆式烧结炉,将压坯装于烧舟中或垫块上,用机械(或手动)传动,推进炉内进行烧结。根据推舟是连续的还是间歇的,这种炉子又分为连续推进式和间歇推进式两种。
 
  3、钟罩式加压烧结炉,用于生产粉末冶金摩擦片的专用烧结炉。在烧结中可施加压力,以使摩擦片快速、有效地与基板粘结。
 
  4、真空烧结炉,具有润滑剂烧除、预烧结及高温烧结的功能。润滑剂含量多的压坯可先在一般炉中烧除,然后再在真空炉内烧结。
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